Cryopump & Robot
service

   ◎ 低温帮浦Overhaul 及Exchange维修服务:

1) Overhaul 服务: 帮浦待修品入厂后，一般情况下可在10个工作天内完成。维修后保固期为自出货日起算12个月。

2) Exchange服务: 针对市场上常用的型号已准备各式备品，提供实时交换服务， 增加客户产能。交换维修保固期为自出货日起算12个月。

本公司备有以下CTI 低温帮浦型号，提供实时更换维修服务:


    ◎ 低温帮浦设备升级服务:

依客户需求提供Implanter & PVD 帮浦升级服务，协助客户减少停机时及增加低温帮浦效能。
    ◎ 低温帮浦操作等相关训练:

依据客户需求，本公司提供低温帮浦教育训练课程，亦可安排维修工厂参观，帮助客户了解低温帮浦结构及原理，以利日后设备操作时更加得心应手。