LayTec

EpiTT/EpiTwinTT/EpiTripleTT 1. 在磊晶过程中进行LED磊芯片的及时监控： > 发散率(emission)及反射率(reflectance) > 磊晶速率..

EpiCurveTT (for Planetary MOCVD)/EpiCurveTT Two (for CRIUS MOCVD)/EpiCurveTwinTT (for CRIUS MOCVD)/EpiCurveTT AR (Blue) (for Planetary MOCVD) 1. 在磊晶过程中进行LED磊芯片的及时监控： > 发散率(emission)及反射率(reflectance) > 磊晶速率..

Pyro 400 (for Planetary MOCVD) 1. 在磊晶过程中进行LED磊芯片的及时监控： > 针对PSS、GaN Epi wafer量身订做的实际表面温度监控技术(..

AbsoluT 1. 无需使用传统eutetic wafer校温，使用波长950nm标准光源快速执行sensor之温度校正。 2. 大幅提高机台u..