半导体设备Teledyne

臭氧产生器 OG-5000 - 可产生高纯度高浓度臭氧 - 相较其他制程气体而言较不产生环境污染之问题 - 低售价 - 无耗材 - OG-500..
臭氧解离器. CAT-O3-E - 催化剂为基础的臭氧破坏 - 快速反应时间 - 环境安全的副产品 - 无耗材 - 不需维修保养 - 简易的安装..
液体臭氧分析仪. dFFOZ. - 实时量测液态臭氧浓度 - 无耗材 -量测范围：150 mg / L - 高精度紫外吸收法 - 无需要定期保养 - FRP..
控制器. SCI-Mux. - 最多可连结至4台臭氧产生器 - 可控制臭氧产生器流量 - 微处理器控制 - 可同时显示4台臭氧侦测气读值 ..
终点侦测器. OPTI-Sense 5000. - 可实时量测 - 无活动式零件 - 数字输出 - 快速的反应时间